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你了解什么是FAB無塵室嗎？

來源：www.gble.cn      發(fā)布日期： 2023年04月27日
現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會有自己的英文名稱，為了提高辨識及分辨度，它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼，比如其中的FAB無塵室，這是什么意思？下面小編來為大家解答。
現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會有自己的英文名稱，為了提高辨識及分辨度，它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼，比如其中的FAB無塵室，這是什么意思？下面小編來為大家解答。
FAB無塵室是芯片生產(chǎn)加工的凈化車間的一般稱呼。tsmc、中芯國際的生產(chǎn)線都叫fab。凈化車間不一樣等級氣體潔凈度等級的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點：針對300000級空氣過濾解決，可選用亞高效送風(fēng)口替代高效送風(fēng)口；氣體潔凈度等級100級、10000級及100000級的空氣過濾解決，應(yīng)選用初、中、高效送風(fēng)口三級過濾裝置。
半導(dǎo)體材料（FAB）凈化室中空氣濕度的目標(biāo)大概操縱在30至50%的范疇內(nèi)，容許偏差在±1%的狹小的范疇內(nèi)，比如光刻技術(shù)區(qū)──或是在遠(yuǎn)紫外光解決（DUV）區(qū)乃至更小──而在別的地區(qū)則能夠釋放壓力到±5%的范疇內(nèi)。
以上就是小編為大家介紹的“FAB無塵室”，希望能對您有所幫助。它只是一個英文單詞的縮寫，簡稱FAB，含義就是芯片加工的車間，對于行業(yè)來說非常重要。
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